分子篩吸附泵的結構

2008-09-12 氣體捕集真空泵 真空技術網 真空技術網整理

   分子篩吸附泵是利用分子篩在低溫下能大量吸氣、在高溫下又能將吸附的氣體釋放出來的性質而設計的一種真空泵。它是目前獲得無油超高真空較為理想的一種予抽泵。


    1)分子篩吸附泵的結構要求:分子篩吸附泵要滿足如下幾個條件。

    (1)使分子篩能得到充分冷卻。

    (2)使被抽氣體易于深入分子篩內部。

    (3)節省液氮的消耗量。

    (4)易于對分子篩加熱再生。

     (5)必須設置安全閥。


    2)分子篩吸附泵的結構類型:按冷卻方式不同,可分為內冷式和外冷式。

內冷式分子篩吸附泵機構示意圖

圖1:內冷式分子篩吸附泵機構示意圖

      (1)內冷式:如圖l所示。泵外殼用不銹鋼制成。分子篩放在無氧銅翼片上,四周有鎳網圍住,防止分子篩漏掉。翼片間距適當。以保證分子篩的充分冷卻。由上蓋板的兩個孔注入液氮后,分子篩便大量吸氣,泵內被抽成真空。當液氮消耗完畢,分子篩吸附的氣體緩慢放出,泵內壓強超過一個大氣壓時,沖開安全閥的氟橡膠塞子,氣體排入大氣中。這種吸附泵用7~8次后需加熱再生一次。再生電爐是細棒狀,由液態注入口插入,可使分子篩被加熱到300~500oC。

外冷式分子篩吸附泵結構示意圖

圖2:外冷式分子篩吸附泵結構示意圖

     (2)外冷式:如圖2所示。泵殼是一個不銹鋼圓筒,焊上輻射狀銅制導熱片(圖a)或液氮冷卻管(圖b),以保證分子篩冷卻良好,泵的中心安放一個頂端封閉的圓柱狀金屬網筒,以保證氣路暢通。分子篩放在這些導熱片(或液氮冷卻管)與網筒之間。吸附泵套上一只塑料筒盛放液氮;分子篩需加熱再生時,把它卸下,另裝一“穿衣式”電爐加熱。


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