普發真空(Pfeiffer Vacuum)發布新款節能型干泵 A 100 L ES

真空產品 Pfeiffer Vacuum 普發真空

  節能50%以上

  結構緊湊、高抽速

  清潔制成的理想選擇

  2013年1月23日 德國 阿斯拉(Asslar)- A 100 L緊湊型干泵是專為半導體領域生產設備靈活集成的要求而量身定制開發的一款產品。這款干多級羅茨泵是加載互鎖真空室(load-lock chambers)、晶片傳送室(transfer chambers )和其他無腐蝕應用(noncorrosive applications)的清潔制成環境中的理想選擇。盡管這款干泵結構緊湊體積小巧,但她依然能夠帶來強大的抽速和高速響應的停機時間,F今,A 100L干泵已經廣泛應用于全球領先的半導體工廠,并且非常適用于無塵室工作事。

Dry pumps A 100 L ES

  在A 100 L基礎上研發的新款A 100 L ES(ES=Energy Saving)系列經過測試能夠節能50%以上,在低壓范圍內其抽速表現依舊強大。并且比A 100 L具有更低的極限壓力和噪音。

  一個典型的案例:300毫米制成的半導體工廠在加載互鎖真空室(loadlock)裝備1300臺泵,一年能夠節約10GWh以上的能源,相當于大約36萬歐元,5.1噸的二氧化碳排放。

  此外為了節約能耗,A 100 L ES的極限壓力降低到了7x10-4 mbar(hPa)。這開創了在要求低壓環境下提高抽氣速度新的潛在應用。同時泵的噪音從58 dB (A)下降到了55 dB (A)。A 100 L ES無疑填補了我們在light duty process中產品節能的要求,就好比我們在medium duty process中A3P系列和harsh duty process中A3H系列一樣都能提供完美的節能產品。